详细摘要: ZM01 VOC传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器处存在敏感气体环境中时,...
产品型号:所在地:深圳市更新时间:2024-03-07 在线留言深圳汉威物联有限公司
详细摘要: ZM01 VOC传感器利用MEMS工艺在Si基衬底上制作微热板,所使用的气敏材料是在清洁空气中电导率较低的金属氧化物半导体材料。当传感器处存在敏感气体环境中时,...
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